Σύστημα επικαλύψεως με υπερηχητικό ψεκασμό υψηλής θερμοκρασίας 60 kHz

Σύστημα Ψεκασμού Υπερήχων Υψηλής Θερμοκρασίας 60kHz με Δίνη

Περιγραφή: 

Το σύστημα ψεκασμού υπερήχων υψηλής θερμοκρασίας 60kHz με δίνη ενσωματώνει ένα ακροφύσιο ατομοποίησης υπερήχων δίνης 60 kHz με ενσωματωμένη δομή ψύξης. Ο πιεζοηλεκτρικός μετατροπέας παράγει δόνηση υψηλής συχνότητας για να μετατρέψει τα υγρά πρόδρομα υλικά σε λεπτά μικροσταγονίδια. Το αέριο διαμόρφωσης δίνης χαμηλής ταχύτητας σχηματίζει ένα σταθερό κωνικό πεδίο ψεκασμού χωρίς ισχυρή πρόσκρουση στα υποστρώματα.

Η διάταξη ψύξης του ακροφυσίου απομονώνει τη θερμότητα από τη θερμική πλάκα υψηλής θερμοκρασίας, η οποία μπορεί να φτάσει έως και 500~600°C. Αυτός ο σχεδιασμός επιτρέπει την επιτόπια ξήρανση και τη θερμική διάσπαση των διαλυμάτων πρόδρομων υλικών απευθείας στην επιφάνεια του υποστρώματος.

Σε σύγκριση με τα συμβατικά ακροφύσια ψεκασμού υπερήχων εστιασμένης δέσμης, ο τύπος δίνης προσφέρει ευρύτερο ενεργό πλάτος ψεκασμού και ανώτερη ομοιομορφία επίστρωσης. Η απαλή ομίχλη μειώνει σημαντικά την υπερβολική εκτόξευση και βελτιώνει την αξιοποίηση υλικού πάνω από 90%, εξοικονομώντας ακριβά πρόδρομα υλικά πολύτιμων μετάλλων. Η λειτουργία αυτόματου καθαρισμού με υπερήχους ελαχιστοποιεί την απόφραξη του ακροφυσίου για εναιωρήματα, σόλ και αλατούχα διαλύματα.

Εξοπλισμένο με μονάδα ακριβείας τροφοδοσίας υγρών, ανεξάρτητη μονάδα ελέγχου αερίου και πλατφόρμα κίνησης σερβοκινητήρα XYZ, το σύστημα υποστηρίζει προγραμματιζόμενες διαδρομές επίστρωσης. Μπορεί να εναποθέσει λεπτά υμένια που κυμαίνονται από δεκάδες νανόμετρα έως μικρόμετρα.

Τυπικές εφαρμογές περιλαμβάνουν στρώματα καταλυτών κυψελών καυσίμου & επίστρωση PEM, ηλιακά κύτταρα περοβσκίτη, φιλμ TCO και οξειδίων μετάλλων, λειτουργικές επιστρώσεις MEMS & πλακιδίων, κατασκευή νανοφίλμ αισθητήρων.

Παράμετροι: 

Πλεονεκτήματα:

1. Ομοιόμορφη κάλυψη με ψεκασμό δίνης, ευρύτερο ενεργό πλάτος ψεκασμού σε μία διέλευση
2. Σχεδιασμός συμβατός με υψηλές θερμοκρασίες. Ακροφύσιο με δομή ψύξης για υποστήριξη της διαδικασίας θερμικής διάσπασης του υποστρώματος
3. Υψηλή αξιοποίηση υλικού άνω του 90%, εξοικονόμηση δαπανηρών διαλυμάτων πρόδρομων υλικών
4. Αυτόματος καθαρισμός με υπερήχους, χαμηλός κίνδυνος απόφραξης ακροφυσίου, συμβατό με εναιωρήματα, σόλ και αλατούχα πρόδρομα υλικά
5. Απαλή ομίχλη με χαμηλή πρόσκρουση, χωρίς ζημιά σε πορώδη υποστρώματα ή προ-σχηματισμένα λεπτά υμένια
6. Ακριβής έλεγχος πάχους φιλμ. Εναπόθεση πολλαπλών στρώσεων για παραγωγή λεπτών υμενίων από νανόμετρα έως μικρόμετρα
7. Αέριο διαμόρφωσης δίνης χαμηλής πίεσης, ελάχιστη ανάκρουση σταγονιδίων και χαμηλή υπερβολική εκτόξευση

Σύστημα Ψεκασμού Υπερήχων Υψηλής Θερμοκρασίας 60kHz με Δίνη